鎳釩合金靶_鎳釩合金靶批發(fā)_鎳釩合金靶供應(yīng)商

鎳釩濺射靶材在制備鎳釩鋁合金的過程中，在鎳溶體中加入釩，使鋁合金更有利于磁控濺射，結(jié)合鎳濺射靶材和釩濺射靶材的優(yōu)點(diǎn).隨著時(shí)代的進(jìn)步和半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，智能電子和信息內(nèi)容、集成電路芯片、顯示屏等行業(yè)對(duì)鎳釩靶材的需求特別大.
濺射靶集中用于信息存儲(chǔ)、集成電路芯片、顯示屏、后視鏡等行業(yè)，主要用于磁控濺射各種薄膜原料.磁控濺射是制造薄膜原料的一種方式。利用離子源產(chǎn)生的正離子，加速真空中快速離子流的集聚，加速粒子流遷移到待堆積膜的材料表面。正離子和待堆積膜材料表面的分子產(chǎn)生機(jī)械能交換，納米技術(shù)堆積在待堆積膜材料表面(或μm)薄膜.因此，用磁控濺射法堆積薄膜的原料被稱為濺射靶材.
在集成電路芯片的生產(chǎn)過程中，一般采用足金作為表面導(dǎo)電層，但金和硅晶圓很容易形成AuSi低熔點(diǎn)化學(xué)物質(zhì)導(dǎo)致金與硅頁面粘結(jié)不牢固。我們在金硅晶圓表面提高了一層粘結(jié)層。常見的純鎳是粘結(jié)層，但鎳層和金導(dǎo)電層會(huì)在中間擴(kuò)散。因此，有必要有一層阻擋層來避免金導(dǎo)電層和鎳粘結(jié)層之間的擴(kuò)散.阻擋層必須選用熔點(diǎn)高金屬，還需承受較大的電流強(qiáng)度，高純金屬釩能滿足本規(guī)定.因此，在集成電路芯片的生產(chǎn)過程中，應(yīng)采用鎳濺射靶材、釩濺射靶材、金濺射靶材等.
鎳釩濺射靶材應(yīng)在備鎳釩鋁合金的過程中，在鎳溶體中加入釩，使鋁合金更有利于磁控濺射，結(jié)合鎳濺射靶材和釩濺射靶材的優(yōu)點(diǎn)，磁控濺射鎳層（粘結(jié)層）和釩層（阻擋層）.鎳釩鋁合金無磁性，有利于磁控濺射.在電子和信息技術(shù)行業(yè)，純鎳濺射靶材基本取代.
鎳釩鋁合金靶材的特點(diǎn)及應(yīng)用
鎳釩鋁合金靶材主要用于太陽能、電子等行業(yè).鎳釩靶材的應(yīng)用及純度如表1所示.
1)光存儲(chǔ).
2)太陽膜充電電池.
3)觸摸顯示屏鍍晶.
4)電子器件及半導(dǎo)體芯片行業(yè).
5)玻璃幕墻結(jié)構(gòu).
鎳釩鋁合金濺射靶材特點(diǎn)規(guī)定
磁控濺射鎳釩靶材要求純度高、殘?jiān)佟⒊煞謱?duì)稱、無收縮松、無出氣孔、顆粒機(jī)構(gòu)對(duì)稱、顆粒尺寸比為微米級(jí)，單獨(dú)濺射靶材要求顆粒規(guī)格盡可能少.因此，磁控濺射不易產(chǎn)生放電現(xiàn)象，磁控濺射膜對(duì)稱.
2.1純凈度
濺射靶首先是高純度。由于濺射靶中的殘留物對(duì)磁控濺射膜的性能危害很大，因此應(yīng)盡量減少濺射靶中的殘留物含量。世界上許多半導(dǎo)體材料或電子設(shè)備制造商明確提出了高標(biāo)準(zhǔn)和嚴(yán)格要求.
2.2殘?jiān)?br>濺射靶材中的殘?jiān)浅?yán)格，鎳釩鋁合金濺射靶材中的殘?jiān)浅?yán)格。Cr，Al，Mg雜質(zhì)含量不得超過100ppm,超出10ppm,腐蝕能下降.U，Th含量不得超過1ppb,Pb和Bi的含量低于0.1ppb,超過此含量，對(duì)電子器件正電荷造成負(fù)面影響，可能出現(xiàn)故障.N含量在1-100ppm中間,N含量增加，腐蝕差，必須嚴(yán)格控制雜質(zhì)含量.
2.3相對(duì)密度
濺射靶材對(duì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)的出氣孔有嚴(yán)格的規(guī)定。由于靶材中的出氣孔會(huì)影響磁控濺射膜的各個(gè)方面特性，導(dǎo)致磁控濺射過程中的異常充放電，會(huì)影響磁控濺射膜的光學(xué)特性.因此，規(guī)定靶材相對(duì)密度高.此外，高密度、高韌性濺射靶材能承受磁控濺射過程中產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力.鎳釩濺射靶材的制備方法一般分為粉未冶金法和冶煉法.未經(jīng)冶金法制備的濺射靶材，出氣孔大，密度低.冶煉方法可分為一般冶煉方法和真空熔煉方法.一般冶煉法，在冶煉過程中，空氣中的氣體很容易進(jìn)入溶體，導(dǎo)致冶煉鑄造氣體的含量不能滿足濺射靶材的要求.因此，鎳釩濺射靶材鋁合金一般采用真空熔煉法，可保證原材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)無出氣孔.
2.晶粒規(guī)格、晶粒尺寸遍布全球
鎳釩靶材需經(jīng)過多次熱冷生產(chǎn)工藝，制備較好的靶坯為多晶體結(jié)構(gòu)，晶粒尺寸比例非常嚴(yán)格，晶粒應(yīng)保持在100μm之內(nèi).從磁控濺射特性的角度來看，對(duì)于成分相同的磁控濺射靶材，晶粒細(xì)度比晶粒大一點(diǎn)的磁控濺射速度更快。同時(shí)，靶材內(nèi)部結(jié)構(gòu)對(duì)稱，磁控濺射到硅晶圓中的薄膜厚度越對(duì)稱.
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